تئوری وفن آوری ساخت ادوات نیمه هادی(ویرایش دوم)
درفصل نخست، پس از ارائه کلیات و مقدمات در رابطه با ساختار منظم تک کریستالهای نیمه هادی، مخصوصاً از جنس سیلیسیم، چگونگی رشد تک کریستال آنها را با هدف تولید ویفرهای نیمه هادی بررسی میشود. فصول دوم تا چهارم به طور مشروح ...
